Die Verfügbarkeit von neuen, miniaturisierten Wärmeleitfähigkeitssensoren ermöglicht neue Wege in der Prozessgasanalyse.

Der Vorteil der Prozessgasanalyse auf Basis Wärmeleitfähigkeit von binären und ternären Gasen liegt in der Schnelligkeit der Messung. Typischerweise werden T-90 Zeiten von kleiner als 10 Sekunden erreicht.

Damit eröffnen sich neue Einsatzfelder in neuen Anwendungen.